多区控温的炉子,分区边界和元件分组方式决定了温度能不能稳定。分错的典型表现是相邻两区温度互相追、一直振荡。
分区边界要放在热流变化平缓的位置,不要放在炉门、工件入口这类温度梯度大的地方。边界放在梯度大的地方,两个区会互相“抢”,控不住。
每个区的元件总功率和该区热损失匹配。区与区之间的元件不要交错排布,交错会让两区热耦合变强。
| 分区数 | 单区功率 | 接线 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 2 ~ 3 区 | 按热损失分配 | 星形 | 小炉常用 |
| 4 ~ 6 区 | 均匀或渐变 | 星形独立 | 连续炉 |
| 6 区以上 | 按工艺曲线 | 分组可控硅 | 多用调功器 |
热电偶要放在该区的代表位置,不能放在边界上,也不能紧贴元件。离元件太近,测的是元件温度不是炉温,控温会偏低。