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真空炉升温为什么要分段

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真空下没有对流,只能靠辐射,升温行为完全不同。而且真空升温有几个特殊风险。

真空炉里没有气体分子,对流换热完全消失,热量只能靠辐射传递。这带来三个和常压炉完全不同的行为。

三个特殊行为

第一,元件散热变差。常压下有气体对流帮忙散热,真空下只能靠辐射,同样功率下元件温度比常压高很多。这就是为什么真空炉的表面负荷只能取常压的 60% 到 70%。

第二,工件升温慢。辐射传热效率和温度的四次方相关,低温段辐射很弱,工件在 600℃ 以下升得很慢。

第三,放气。工件和炉衬在真空下会释放吸附的气体,真空度会先变差再变好。

为什么要分段

阶段温度要点
抽真空室温先抽到目标真空度
低温段室温 ~ 600℃慢升,重点是放气
中温段600 ~ 1000℃可以加快,辐射增强
高温段> 1000℃正常速度,注意元件温度

低温段慢升的目的不是保护元件,是让工件和炉衬充分放气。升太快,气体来不及抽走,会在工件表面形成氧化或氮化。

一个容易忽略的点

真空炉停炉后不能马上开炉门。热工件遇到空气会氧化,而且高温下空气进入有爆燃风险。要等炉温降到 200℃ 以下,先回充氮气再开。

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